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当前位置:首页 > 技术文章>DS300压力式气体质量流量控制器的电气接口形式介绍!
技术文章

DS300压力式气体质量流量控制器的电气接口形式介绍!

 

DS300简介

 

     

      DS300压力式气体质量流量控制器是基于压力检测原理的质量流量控制器,流量控制采用压电阀控制技术。产品具有零点漂移小,控制流量稳定、可靠,响应时间短、精度高的优点,此外还具有压力不敏感功能,能够适用较大的气源压力波动。产品采用全金属密封,所有与气体接触的零件都经过EP处理,主要应用于半导体行业,如刻蚀设备上。

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       DS300外观图

 

 

电源方式

 

 

     

      DS300压力式气体质量流量控制器(MFC)产品采用开关电源方式,可支持很宽的双电源(±8~±16V DC)或单电源(+14~+28V DC),客户可以根据需要自行选择。

 

 

 

电气接头

 

 

     

        DS300压力式MFC产品的电气接头有DeviceNet接头和D型阳接头(9针或15针),客户可以根据需要自行选择。

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    图1  9针D型阳接头连接图  

 

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       图2  15针D型阳接头连接图

 

 

 

通讯协议

 

    

      DS300压力式MFC产品支持RS485串行通讯与DeviceNet通讯协议,客户可以根据需要自行选择,其中RS485串行通讯可以用RS485电缆线和相应的适配器与电脑进行连接。

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             图3  DeviceNet连接图    

 

IMG_268 

                    

       图4  RS485连接图  

 

 


  更新更新时间:2023-09-11
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