CS200C数字式气体质量流量控制器采用*传感器和温度补偿技术,因此产品精度可以达到设定值1%以内,并且低温度系数可以保证产品适应不同的环境温度。同时,产品采用高速控制算法使整个流量计的响应时间方面更加岀色。全量程范围内,CS200C产品*快可在800ms以内达到设定流量,响应时间将使用过程中产生的系统误差小化,所需流量更加精准。
CS200C数字式气体质量流量控制器,采用*传感器和温度补偿技术,因此产品精度可以达到设定值1%以内,并且低温度系数可以保证产品适应不同的环境温度。同时,产品采用高速控制算法使整个流量计的响应时间方面更加岀色。全量程范围内,CS200C产品*快可在800ms以内达到设定流量,响应时间将使用过程中产生的系统误差小化,所需流量更加精准。
优势
• 采用的恒功率传感器原理,在温度变化时进行相应的补偿,从根本上抑制了流量计的零漂现象,保证了传感器线性。
• CS200C产品采用专门的金属表面处理技术,与气体接触的表面金属材料全部使用316LVV,CS200C产品金属表面粗糙度更可达10RA以下,CS200D产品金属表面粗糙度可达25RA。
• CS200产品严格按照SEMI标准生产制造,尺寸符合通用的SEMI标准。
• CS200系列产品支持±8V~±16V双电源, +14V~+28V单电源供电;数字,模拟输入输出。
• 产品支持RS485,DeviceNet通讯方式。
• 具有多气体多量程功能、自动归零功能、报警功能、软启动功能、延迟功能及功能强大的免费客户端使用软件。
CS200C数字式气体质量流量控制器技术参数
CS200 | ||||||
型号 | CS200-A | CS200-C | CS200-D | |||
阀类型 | 常开(流量规格 ≤ 30SLM) | 无 | 常开或常闭 | 无 | 常开或常闭 | 无 |
流量规格(N2) | (0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | (0~2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | ||||
准确度 | ±1.0% S.P. (≥35% F.S.) | |||||
线性 | ±0.5% F.S. | |||||
重复精度 | ±0.2% F.S. | |||||
响应时间 | ≤ 1sec | ≤ 0.8sec | ||||
工作压差范围 | 0.05~0.35MPa 流量规格≤10SLM | <0.02 MPa | 0.05~0.35MPa | <0.02 MPa | 0.05~0.35MPa | <0.02 MPa |
大工作压力 | 0.45MPa | |||||
温度系数 | 零点: ≤±0.05% F.S./℃; | 零点: ≤±0.02% F.S./℃; | ||||
耐压强度 | 3MPa | |||||
漏率 | 1×10-10 Pa·m3 / sec He | 1×10-11 Pa·m3 / sec He | ||||
密封材料 | 氟橡胶 | 金属密封 | ||||
工作环境温度 | (5~45)℃ | (0~50)℃ | ||||
输入信号 | 数字: RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus | 无 | 数字: RS485 | 无 | 数字: RS485 | 无 |
输出信号 | 数字::RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus | |||||
零漂 | 在没有零点校正时<0.6%F.S./年 | |||||
电源 | ±8 ~ ±16 VDC (双极)或 +14 ~ +28 VDC (单极) | |||||
表面化学成分 | 常态 | Cr/Fe 比例 ≥2.0, CrO 厚度 ≥ 20 (埃) | 常态 | |||
表面粗糙度 | 25 Ra | 10 Ra | 25 Ra | |||
标准接头形式 | 双卡套 φ6;双卡套 1/4´´;双卡套 3/8´´;VCR1/4´´阳接头;双卡套φ3; | 双卡套φ3;双卡套φ6;双卡套 1/4;VCR1/4 阳接头; | ||||
电源接头形式 | D 型 9 针阳接头;D 型 15 针阳接头;DeviceNet 接头; ProfiBus 接头;模拟接头 | |||||
重量 | 1 Kg | 0.8Kg | 1.2Kg | 1Kg | 1.2Kg | 1Kg |