D07-19C气体质量流量控制器用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
D07-19C气体质量流量控制器产品简介:
★高精度,快响应型
★橡胶密封、模拟电路的MFC
★采用DB15型电插头,标准机械接头
★兼容
D07-19C气体质量流量控制器用途:
用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
D07-19C气体质量流量控制器详细参数:
产品型号 | D07-19C |
产品类型 | 高精度型,快响应型 |
流量量程 | 5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm |
产品精度 | ±1%F.S.(20slm ±2%F.S.) |
重复精度 | ±0.2% FS |
线性 | ±0.5% F.S.(20slm ±0.2% F.S.) |
响应时间 | ≤1.5sec |
工作温度范围 | (5~45)°C |
耐压 | 3MPa |
密封材料 | 氟橡胶Viton,氯丁橡胶(耐氨橡胶) Neoprene,聚四氟乙烯 Teflon |
输入输出信号 | (0~5)VDC |
电源 | ±15V |
阀类型 | - 无 - |
温度系数 | Span: ≤±0.1% F.S./℃,Zero: ≤±0.05% F.S./℃ |
零点飘移指标 | - 无 - |
电气连接 | D sub 15 pins Male |
工作压差范围 | (0.1~0.5) MPa |
漏率 | 1×10-9atm•cc / sec He(1×10-10 Pa•m3 / sec He) |
标准接头形式 | 双卡套1/8”(满量程>10slm不适用),双卡套Φ3(满量程>10slm不适用),双卡套Φ8,双卡套Φ6,双卡套Φ10,双卡套3/8”,φ4(内)×1软管接头,VCR1/4”,双卡套1/4”,φ6(内)×1软管接头 |
表面化学成分 | - 无 - |
表面粗糙度 | - 无 - |
抗电磁干扰 | CE |
重量 | 1.2Kg |