CS100数字气体质量流量控制器是基于七星流量计CS系列产品技术平台开发,在拥有恒功率传感器技术,数字传感器平衡技术,VCP线控制技术的基础上,采用客户定制化设计,客户可根据需要选用符合自身需求的产品,同时其*创的客户零点补唯功能(CGC),能够解决由于客户地线连接导致的MFC精度不准问题,使产品更好的适应客户环境。
CS100数字气体质量流量控制器是基于七星流量计CS系列产品技术平台开发,在拥有恒功率传感器技术,数字传感器平衡技术,VCP线控制技术的基础上,采用客户定制化设计,客户可根据需要选用符合自身需求的产品,同时其*创的客户零点补唯功能(CGC),能够解决由于客户地线连接导致的MFC精度不准问题,使产品更好的适应客户环境。
优势
• CS100产品采用客户定制化设计,
• 客户可根据需要选用±15V双电源或+24单电源供电;
• 金属密封或橡胶密封;
• 产品尺寸可选用符合通用的SEMI标准的产品,也可选用紧缩型产品。
CS100数字气体质量流量控制器技术参数:
CS100 | ||||||||||||||
型号 | CS100A | CS100D | ||||||||||||
阀类型 | 常闭 | 无 | 常闭 | 无 | ||||||||||
流量规格(N2) | (0~10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | (0~10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | ||||||||||||
准确度 | ±1.0% S.P. (≥35% F.S.); ±0.35% F.S.(<35% F.S.) | |||||||||||||
线性 | ±0.5% F.S. | |||||||||||||
重复精度 | ±0.2% F.S. | |||||||||||||
响应时间 | ≤ 1sec | |||||||||||||
工作压差范围 | 0.05~0.35MPa; 流量规格≤10SLM | <0.02 MPa |
0.05~0.35MPa; 流量规格≤10SLM | <0.02 MPa | ||||||||||
温度系数 | 零点: ≤±0.05% F.S/℃; 调节时: ≤±0.1% F.S/℃ | |||||||||||||
耐压 | 3MPa | 10MPa | 3MPa | 10MPa | ||||||||||
漏率 | 1×10-9 Pa·m3 / sec He(1×10-8 atm·cc / sec He) | |||||||||||||
密封材料 | 氟橡胶 | 金属密封 | ||||||||||||
大工作压力 | 0.45MPa | |||||||||||||
工作环境温度 | (5~45)℃ | |||||||||||||
输入信号 | 模拟: | 数字: RS485 | 无 | 无 | 模拟: | 数字: RS485 | 无 | 无 | ||||||
输出信号 | 模拟: | 数字: RS485 | 模拟: (0~5)VDC | 数字: RS485 | 模拟: | 数字: RS485 | 模拟: | 数字: RS485 | ||||||
电源接头形式 | D型9针 D型15针 | D型9针 O型3针 | D型15针 | D型9针 D型15针 | D型9针阳接头; O型3针阳接头 | D型15针阳接头 | D型9针 D型15针 | D型9针 O型3针 | D型15针 | D型9针 D型15针 | D型9针阳接头; O型3针阳接头 | D型15针阳接头 | ||
供电电源 | ±15V | ±15V | +24V | ±15V | ±15V | +24V | ±15V | ±15V | +24V | ±15V | ±15V | +24V | ||
自动清零 | 支持 | |||||||||||||
表面粗糙度 | 25μinch Ra | |||||||||||||
标准接头形式 | 双卡套 φ6; 双卡套φ3;双卡套1/4´´;双卡套1/8´´; VCR1/4´´阳接头; φ6(内)x1软管接头;φ5(内)x1.5软管接头;φ4(内)x1软管接头 | VCR1/4″阳接头 | ||||||||||||
重量 | 1.2Kg | 1Kg | 1.2Kg | 1Kg |