D07-7CM气体流量计标准接头形式:双卡套Φ8,双卡套Φ6,双卡套Φ3,双卡套1/8",φ4(内)?软管接头,VCR1/4",双卡套1/4",φ6(内)?软管接头
D07-7CM气体流量计技术参数:
产品型号 | D07-7CM |
产品类型 | 普通型 |
流量量程 | 5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm |
产品精度 | ±1.5%F.S. |
重复精度 | ±0.2% FS |
线性 | ±1%F.S. |
响应时间 | ≤10sec |
工作温度范围 | (5~45)°C |
耐压 | 3MPa |
密封材料 | 氟橡胶Viton,氯丁橡胶(耐氨橡胶) Neoprene |
输入输出信号 | (0~5)VDC |
电源 | ±15V |
阀类型 | 无阀 |
温度系数 | - 无 - |
零点飘移指标 | - 无 - |
电气连接 | D sub 15 pins Female |
工作压差范围 | <0.01 MPa |
漏率 | 1×10-8atm•cc / sec He(1×10-9 Pa•m3 / sec He) |
标准接头形式 | 双卡套Φ8,双卡套Φ6,双卡套Φ3,双卡套1/8”,φ4(内)×1软管接头,VCR1/4”,双卡套1/4”,φ6(内)×1软管接头 |
表面化学成分 | - 无 - |
表面粗糙度 | - 无 - |
抗电磁干扰 | CE |
重量 | 0.92 Kg |