D07-15小流量气体流量计用途: 质量流量控制器(MFC)用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
D07-15气体质量流量控制器 产品简介:
★高稳流型
★小体积,低波动
★橡胶密封、模拟电路的MFC
★采用P20金手指插头
D07-15气体质量流量控制器用途:
质量流量控制器(MFC)用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
D07-15气体质量流量控制器技术参数:
产品型号 | D07-15 |
产品类型 | 普通型 |
流量量程 | 5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm |
产品精度 | ±1%F.S. |
重复精度 | ±0.2% FS |
线性 | ±0.5% F.S. |
响应时间 | ≤4sec |
工作温度范围 | (5~45)°C |
耐压 | 3MPa |
密封材料 | 氟橡胶Viton,氯丁橡胶(耐氨橡胶) Neoprene,聚四氟乙烯 Teflon |
输入输出信号 | (0~5)VDC |
电源 | ±15V |
阀类型 | 常闭 |
温度系数 | - 无 - |
零点飘移指标 | - 无 - |
电气连接 | P20 Card Edge |
工作压差范围 | (0.1~0.3) MPa |
漏率 | 1×10-8atm•cc / sec He(1×10-9 Pa•m3 / sec He) |
标准接头形式 | 双卡套Φ6,双卡套Φ3,VCR1/4”,双卡套1/4” |
表面化学成分 | - 无 - |
表面粗糙度 | - 无 - |
抗电磁干扰 | - 无 - |
重量 | 0.85Kg |