D07-60G气体流量控制器简介:
★重复性好、快响应型 、超大流量型
★橡胶密封、模拟电路的MFC
★标准机械接头
D07-60G气体流量控制器参数:
产品型号 | D07-60G |
产品类型 | 大流量型 |
流量量程 | 300slm,500slm,750slm,1000slm,1500slm,2000slm |
产品精度 | ±2%F.S. |
重复精度 | ±0.2% FS |
线性 | ±1%F.S. |
响应时间 | ≤10sec |
工作温度范围 | (5~45)°C |
耐压 | 3MPa |
密封材料 | 氟橡胶Viton,氯丁橡胶(耐氨橡胶) Neoprene,聚四氟乙烯 Teflon |
输入输出信号 | (1~5)VDC,(4~20)mA |
电源 | 24V |
阀类型 | 常闭 |
温度系数 | - 无 - |
零点飘移指标 | - 无 - |
电气连接 | D sub 15 pins Male |
工作压差范围 | (0.25~0.5) MPa (F.S.≤1000slm) |
漏率 | 1×10-8atm•cc / sec He(1×10-9 Pa•m3 / sec He) |
标准接头形式 | 双卡套1/2”(满量程≤1000slm),双卡套Φ10(满量程=300slm) |
表面化学成分 | - 无 - |
表面粗糙度 | - 无 - |
抗电磁干扰 | - 无 - |
重量 | 6Kg |