IGS金属隔膜阀应用于IGS的高纯度金属隔膜阀,采用二次熔炼的SUS316L作为阀体材质,有多种接口(C-seal和W-seal)可供选择。
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IGS金属隔膜阀优势:
• 适合高纯度工艺供气生产线• 阀体材质选用二次熔炼的SUS316L,安全可靠• W-seal和C-seal 可供选择
IGS金属隔膜阀技术参数:
尺寸
SEMI F83-03041.125” W seal2 Port
SEMI F84-03041.125” W seal3 Port
SEMI F86-03041.125” C seal2 Port
Cv value( Cv值)
0.24
0.27
大使用压力
1.0MPa(G)
使用温度范围
-10~80℃
外部泄露
≦3x10-12 Pa・m3/sec Helium
阀座泄露
≦3x10-10 Pa・m3/sec Helium
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