300mm (氮气) 晶圆盒传送存储系统

简要描述：

300mm (氮气) 晶圆盒传送存储系统主要由晶圆盒FOUP载入系统LoadPort、晶圆盒FOUP缓存架Shelf、机械手Robot、全密封式FIMS、氮气吹扫系统N2 Purge、气动系统以及电控系统等部分组成。实现晶圆盒FOUP的载入载出、暂存、氮气吹扫和晶圆盒FOUP开关盒等功能。该产品中晶圆盒FOUP载入系统分为A/B两个工位，用于实现晶圆盒FOUP的载入载出，晶圆盒FOUP缓存架共有18个工位，可以实现多个晶圆盒FOUP的存储，在存储过程中氮气吹扫系统N2 Purge功能开启，可以有效降低晶圆盒FOUP内的含氧量及湿度。机械手Robot用于在各工位之间的取放和搬运。全密封FIMS可以实现晶圆盒FOUP开关盒功能并保证Stocker与工艺设备之间的密封要求。