射频匹配器是一种用于使负载阻抗与射频电源的阻抗匹配，减少反射功率，使传输功率达到的设备。不同的匹配器，被设计成适用于单个频率或多个频率段，以满足不同的应用场景。
创新点
双频同步控制匹配算法
宽频射频传感器
高可靠性接口技术
应用领域
半导体-集成电路
半导体-封装
半导体显示
半导体照明
半导体-微机电系统
功率半导体
化合物半导体
技术指标
| 功率范围 | 10W-45kW |
| 频率范围 | 400kHz/2MHz/13.56MHz/27.12MHz/40.68MHz/60MHz双频组合 |
| 匹配速度 | ≤1s(合适预设) or 3s |
| 匹配精度 | ≤1%*前向功率 or 5W |
| 信号类型 | 连续波，脉冲波（SLP/DLP/MLP） |
| 通讯接口 | RS232/EtherCAT |
| 供电电压 | 24V DC |
| 冷却类型 | 强制风冷 |
| 阻抗范围 | 根据客户需求定制 |
| 机械尺寸 | 根据客户需求定制 |
| 接口形式 | 根据客户需求定制 |
| 应用产品 | Etch, PECVD |
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