PT100 压力变送器利用压阻式压力传感器，来检测介质的压力变化，并将压力转换为电信号输出；可测量气路盘、工艺腔和传输腔等位置的压力变化；广泛应用于集成电路、封装、半导体照明、功率半导体、化合物半导体等领域。
创新点
采用32位MCU进行设计
数字电路控制
两路压力报警信号输出
应用领域
半导体-集成电路
半导体-封装
半导体照明
功率半导体
化合物半导体
技术指标
| 型号 | PT100 |
| 量程 | -14.7～15psi/-14.7～100psi/0～17.5psi和-0.1～1MPa |
| 精度 | ±0.5% F.S. |
| 漏率 | <1x10-9atm.cc/sec He |
| 温漂系数 | 0.1 %F.S./℃ |
| 运行温度范围 | 0 ～ 80℃ |
| 耐压极限 | 额定压力的2倍 |
| 爆破压力 | 额定压力的5倍 |
| 工艺侧材料 | 316L SEMI F20/镍基合金 |
| 供电电压 | 24V±10%VDC |
| 输出 | 0~10V/4-20mA |
| 湿节点输出规格 | 2路PNP或NPN(24V/高阻) |
| 电气接口 | Molex1625-6P1/散线 |
| 机械接口 | 1.125“C-seal/1.125“W-seal/4VCR/KF16 |
| 使用寿命 | >1×106 cycles |
| C E 认 证 | 设计满足EN61326-1 |
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