D07-7K 气体质量流量控制器 氧气流量计用途: 质量流量控制器(MFC)用于对气体的质量流量进行精 密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制 气配气等行业。
★高性能价格比、普通型产品
★橡胶密封、模拟电路的MFC
★7A型的更新换代型
★管状分流,使用寿命长
D07-7K 气体质量流量控制器 用途:
质量流量控制器(MFC)用于对气体的质量流量进行精 密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制 气配气等行业。
D07-7K 气体质量流量控制器 氧气流量计技术参数:
产品型号 D07-7K 产品类型 普通型 流量量程 20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm 产品精度 ±1%F.S. 重复精度 ±0.2% FS 线性 ±1%F.S. 响应时间 ≤4sec 工作温度范围 (5~45)°C 耐压 3MPa 密封材料 氟橡胶Viton,氯丁橡胶(耐氨橡胶) Neoprene 输入输出信号 (0~5)VDC 电源 ±15V 阀类型 常闭 温度系数 - 无 - 零点飘移指标 - 无 - 电气连接 D sub 15 pins Female 工作压差范围 (0.1~0.5) MPa 漏率 1×10-8atm•cc / sec He(1×10-9 Pa•m3 / sec He) 标准接头形式 双卡套Φ8,双卡套Φ6,双卡套Φ3,双卡套1/8”,φ4(内)×1软管接头,VCR1/4”,双卡套1/4”,φ6(内)×1软管接头 表面化学成分 - 无 - 表面粗糙度 - 无 - 抗电磁干扰 - 无 - 重量 1.1Kg