D07-9E气体质量流量控制器 氩气流量计用途: 质量流量控制器(MFC)用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
产品型号 | D07-9E |
产品类型 | 普通型 |
流量量程 | 20slm,30slm,50slm,100slm,150slm,200slm,250slm |
产品精度 | ±2%F.S. |
重复精度 | ±0.2% FS |
线性 | ±1%F.S. |
响应时间 | ≤4sec |
工作温度范围 | (5~45)°C |
耐压 | 3MPa |
密封材料 | 氟橡胶Viton,氯丁橡胶(耐氨橡胶) Neoprene |
输入输出信号 | (0~5)VDC |
电源 | ±15V |
阀类型 | 常闭 |
温度系数 | - 无 - |
零点飘移指标 | - 无 - |
电气连接 | D sub 15 pins Male |
工作压差范围 | (0.05~0.30) MPa(20slm ≤F.S.≤30slm),(0.10~0.30) MPa(50slm m≤F.S.≤150slm),(0.15~0.30) MPa(200slm ≤F.S.≤250slm) |
漏率 | 1×10-8atm•cc / sec He(1×10-9 Pa•m3 / sec He) |
标准接头形式 | VCR1/2”,双卡套1/2”,双卡套1/4”(满量程≤60slm),双卡套Φ12,双卡套Φ6(满量程≤60slm),双卡套Φ8(满量程≤200slm),双卡套Φ10 |
表面化学成分 | - 无 - |
表面粗糙度 | - 无 - |
抗电磁干扰 | - 无 - |
重量 | 2.6Kg |