CS200H质量流量控制器是七星流量计生产的数字型高温产品,其电气和机械部分采用分体式的设计,通过高温线缆连接,可以实现在高温环境下工作,能够满足复杂多变的半导体测量需求。
优势
• 控制器工作温度:90~120℃。
• 高控制精度:产品精度可达±1.0% S.P.(≥35%F.S.)。
• 快速响应,响应时间≤ 0.8sec。
• 采用恒功率传感器原理,在温度变化时进行相应的补偿,从根本上抑制了流量计的零漂现象,保证了传感器线性。
• 产品采用专门的金属表面处理技术,与气体接触的表面金属材料全部使用316LVV,CS200产品金属表面粗糙度更可达10RA以下,严格按照SEMI标准生产制造。
• 支持±8V~±16V双电源, +14V~+28V单电源供电;数字,模拟输入输出。
• 产品尺寸符合通用的SEMI标准,RS485,DeviceNet通讯方式。
CS200H质量流量控制器技术参数
CS200 | ||
型号 | CS200-H | |
阀类型 | 常闭 | 无 |
流量规格(N2) | (0~2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | |
准确度 | ±1.0% S.P. (≥35% F.S.) | |
线性 | ±0.5% F.S. | |
重复精度 | ±0.2% F.S. | |
响应时间 | ≤ 1sec | |
工作压差范围 | 0.05~0.35MPa 流量规格≤10SLM | <0.02 MPa |
大工作压力 | 0.45MPa | |
温度系数 | 零点: ≤±0.1% F.S./℃;调节时: ≤±0.1% F.S./℃ | |
耐压强度 | 3MPa | |
漏率 | 1×10-11 Pa·m3 / sec He | |
密封材料 | 金属密封 | |
工作环境温度 | 质量流量控制器/流量计:(90~120)℃;控制盒:(0~50)℃ | |
输入信号 | 数字: RS485 或 DeviceNet | 无 |
输出信号 | 数字:RS485或 DeviceNet | |
零漂 | 在没有零点校正时<0.6%F.S./年 | |
电源 | ±8 ~ ±16 VDC (双极)或 +14 ~ +28 VDC (单极) | |
表面化学成分 | Cr/Fe比例 ≥2.0, CrO 厚度 ≥20 (埃) | |
表面粗糙度 | 10 Ra | |
标准接头形式 | 双卡套φ6;双卡套1/4;VCR1/4阳接头;1.5´´C型密封接头 | |
电源接头形式 | D型9针阳接头;D型15针阳接头;DeviceNet接头 | |
连接高温电缆 | 2m | |
重量 | 1.2Kg | 1Kg |