LPT100 液体压力传感器是一款为半导体技术发展需求而研制的高精度耐腐蚀的产品，主要应用于集成电路湿法制程中的CMP、清洗等设备上。
创新点
基于压力信号采集和转换技术
抗腐蚀传感器结构设计
半导体级别洁净度工艺
应用领域
半导体-集成电路
技术指标
| 型号 | LPT100 | |
| 材质 | 接液部分 | 本体：PTFE |
| 传感器及接头：PFA | ||
| 密封：全氟O圈 | ||
| 非接液部分 | PE，PP，PVDF等 | |
| 线缆 | FEP或AFPF包裹 | |
| 物理参数 | 压力范围 | 0-30，0-60，0-100（psig） |
| 过载压力 | 1.5*F.S. | |
| 接口类型 | 单端式 | |
| T型 | ||
| 机械接头 | 1/4、3/8、1/2 Flared | |
| 1/4MNPT | ||
| 电气参数 | 供电电压 | +24VDC |
| 输出信号 | 4-20mA, 0-5V或0-10V | |
| 精度 | 1% F.S. | |
| 工作温度 | 10-60℃ | |
| 线缆长度 | 1.5M | |
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