DS312 是一款控制精度高、相应速度快的质量流量控制器（MFC），主要用于刻蚀机等对机器性能要求高的半导体机台。
创新点
基于PTC（Pressure，Temperature，Channel）的压力传感技术
全新的压电阀结构原理技术
高精度的压电阀驱动技术
符合SEMI要求的材料表面处理技术
应用领域
半导体—集成电路
半导体—微机电系统
功率半导体
化合物半导体
半导体—封装
半导体显示
半导体照明
技术指标
| 型号 | DS312 |
| 流量规格 | 50~10000sccm （DS312C） |
| 50~5000sccm （DS312W） | |
| 阀类型 | 常闭 |
| 进口压力 | 240～450kPaA 流量规格≤5SLM |
| 350～450kPaA 流量规格＞5SLM | |
| 出口压力 | ≤3.3kPaA （DS312C） |
| ≤13.3kPaA （DS312W） | |
| 耐压 | 1Mpa |
| 工作温度 | 10℃ ~ 45℃ |
| 外漏 | 1 x 10-11 Pa·m³ / sec He |
| 精度 ( 包含线性、标定系统精度等) | <= ±1%S.P. （>=10%F.S. ） |
| 重复精度 | <= ±0.3%S.P. （>=10%F.S. ） |
| 响应时间（流量达到设定点的±2%内） | <= 0.5 sec |
| 标准电源接头 | DeviceNet接头 |
| 通讯协议 | DeviceNet |
| 标准气路接头 | IGS-C, IGS-W |
| 接气部分材质 | F20 |
注：
1. F.S.： 满量程full scale
2. kPaA：kPa，绝压
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