CS312 质量流量控制器采用新型低零漂传感器和温度补偿技术，产品精度可达到设定值1%以内，低温度系数可保证产品适应不同的环境温度，可广泛应用于半导体、光伏、平板显示等行业的工艺设备中，精确控制工艺气体流量，具有低零漂、高精度、快响应、耐腐蚀等特点。
创新点
恒功率传感技术
电化学抛光技术
应用领域
半导体—集成电路
半导体照明
特种工业—真空镀膜
科学研究—实验器材
技术指标
| 技术名称 | CS312 |
| 流量规格(N₂) | (0~1,2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM(0~1,2,3,5,10,20,30,50) SLM |
| 准确度 | ±1.0% S.P. (≥35% F.S.) (±0.80% S.P. (≥30% F.S.) optional) ±0.35% F.S. (＜35% F.S.) (±0.24% F.S. (＜30% F.S.) optional) |
| 漏率 | ≤5×10⁻¹² Pa·m³/s |
| 响 应 时 间 | ≤0.8 sec |
| 工作压差范围 | 0.05~0.35MPa流量规格≤10SLM 0.15~0.35MPa 10SLM<流量规格≤30SLM 0.30~0.50MPa 30SLM<流量规格≤50SLM |
| 温 度 系 数 | 零点: ≤±0.02%F.S./℃; 调节时: ≤±0.05%F.S./℃ |
| 重 复 精 度 | ±0.2% F.S. |
| 线性 | ±0.5% F.S. |
| 耐压 | 3.5MPa |
| 密 封 材 料 | 金属密封 |
| 工作环境温度 | (0~50) ℃ |
| 输 入 信 号 | Analog: 0~5V, RS485, DeviceNet |
| 输 出 信 号 | Analog: 0~5V, RS485, DeviceNet |
| 电源 | ±8~±16 VDC (双极)或+14~+28 VDC(单极) |
| 标准接头形式 | VCR1/4阳接头;1.125"C型密封接头;1.125"W型密封接头 |
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