CS316是专为关键半导体制造工艺设计的压力不敏感型质量流量控制器，采用了压力补偿技术，减少前端压力变化对瞬时流量的影响，从而保证了产品的稳定性和准确性。产品各项技术指标均严格按照SEMI标准，支持W型，C型IGS气路系统。
创新点
电化学抛光技术
恒功率传感技术
压力补偿技术
应用领域
半导体—集成电路
清洁能源—光伏
技术指标
| 型号 | CS316 |
| 流量规格(N₂) | (0~1,2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM (0~1,2,3,5,10,20,30) SLM |
| 准确度 | ±1.0% S.P. (≥35% F.S.) (±0.80% S.P. (≥30% F.S.) optional)
±0.35% F.S. (＜35% F.S.) (±0.24% F.S. (＜30% F.S.) optional) |
| 漏率 | ≤5×10¹² Pa·m³/s |
| 响 应 时 间 | ≤0.7 sec |
| 工作压差范围 | 0.05~0.35MPa流量规格≤10SLM
0.15~0.35MPa 流量规格>10SLM |
| 温 度 系 数 | 零点: ≤±0.02%F.S./℃; 调节时: ≤±0.05%F.S./℃ |
| 重 复 精 度 | ±0.2%F.S. |
| 线性 | ±0.5%F.S. |
| 压力瞬变灵敏度 | 10~100sccm±(5%S.P+1%F.S.) 【3PSI/秒】
100~10SLM±(1%S.P+1%F.S.) 【5PSI/秒】 |
| 耐压 | 3.5 MPa |
| 密 封 材 料 | 金属密封 |
| 工作环境温度 | (0~50) ℃ |
| 输 入 信 号 | Analog: 0~5V, RS485, DeviceNet |
| 输 出 信 号 | Analog: 0~5V, RS485, DeviceNet |
| 电源 | ±8~±16 VDC(双极)或+14~+28 VDC (单极) |
| 标准接头形式 | VCR1/4阳接头;1.125"C型密封接头;1.125"W型密封接头 |
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