CS330 热式数字气体质量流量控制器

简要描述：

CS330C、D型 MFC是全金属密封大流量的数字型产品，为气体质量流量的控制、测量提供了高准确度及高可靠性。该型产品支持提供数字信号，0~5V模拟信号，4~20mA模拟信号，可以使用双电源（±8~±16VDC）或单电源(+14~+28 VDC)。

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创新点

VCP的阀控技术

阀控技术采用多项新成果，统称VCP技术，该结构阀内部气体死区空间少，阀响应速度快，无磁滞现象。采用VCP技术可以有效的提高气体质量流量控制器品质。

恒功率传感器

采用了一种新型恒功率式传感器技术，该技术采用保持传感器工作状态恒定方法，大幅度提高了系统测量精度、响应速度等多项指标。

数字传感器补偿技术

采用一种数字式传感器电桥平衡方法，可以用连续的电压对传感器驱动电压进行温度补偿，提高了产品传感器对于温度漂移抑制，使产品可以抵抗温度剧烈变化。

应用领域

半导体—集成电路

清洁能源—光伏

特种工业—真空镀膜

科学研究—实验器材

技术指标

型号	CS330
	C		D
流量规格(N₂)	(100,200) SLM
准确度	±1.0% S.P.(>35% F.S.) ±0.35% F.S.(≤35% F.S.)
线性	±0.5% F.S.
重复精度	±0.2% F.S.
响应时间	≤1sec
阀类型	Normally Closed	No Valve	Normally Closed	No Valve
工作压差范围	400~600KPa	<0.03 MPa	400~600KPa	<0.03 MPa
温度系数	Zero:≤±0.02%F.S./℃; Span:≤±0.1% F.S./℃
工作压力	0.6 MPa
耐压	1 MPa
零漂	<0.6%F.S. per year without autozero
漏率	5x10⁻¹²Pa·m³/sec He (5x10⁻¹¹atm.cc/sec He)
密封材料	Metal
工作环境温度	(0~50) ℃
输入信号	Digital: RS485/DeviceNet/ EtherCAT* Analog:(0~5)VDC or(4~20)mA	N/A	Digital: RS485/DeviceNet/EtherCAT* Analog:(0~5)VDC or(4~20)mA	N/A
输出信号	Digital: RS485 or DeviceNet or EtherCAT Analog:(0~5)VDC or(4~20)mA
电源	±8~±16 VDC or+14~+28 VDC(400mA)
表面化学成分	Cr/ Fe ratio>2.0 CrO thickness >20 Angstroms
标准接头形式	VCR 1/2"M
电源接头形式	9 pin male sub-D; 15 pin male sub-D;DeviceNet male; EtherCAT* male
表面粗糙度	5 μinch Ra		25 μinch Ra
重量	1.8kg	1.6kg	1.8kg	1.6kg