FV100 汽化器是一种将前驱体液体雾化形成液滴气溶胶，然后流入高效热交换器形成蒸汽设备。以提供基本上不含颗粒污染物的高纯度气体或蒸汽混合气，用于半导体薄膜沉积和工业涂层应用的CVD、PECVD、ALD薄膜沉积。
创新点
汽化效率高
节省空间
半导体-集成电路
| 型号 | FV100 | type |
| 尺寸 | mm×mm×mm | Size |
| 重量 | 1.3kg | Weight |
| 接头 | 进气：1/4”VCR; 进液：1/8”VCR×2；出口：1/2”VCR | Joint |
| 材质 | 316L | Mterial |
| 漏率 | <1×10-8 scc/sec Helium | Lake rate |
| 加热器规格 | 208 VAC, 60Hz, 400W | Heater |
| 载气 | 惰性气体 | Carrier gas |
| 液体流量范围 | 0-10g/min(TEOS) | Flow range |
| 系统可承受压力 | 1.0MPa | Position resolution |
| 温度传感器种类 | Type K Thermocouple | Temperature sensor |
| 安装位置 | any | Mounting position |
| 耐压 | 1.0 Mpa | Pressure resistance |
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