FV100 汽化器是一种将前驱体液体雾化形成液滴气溶胶，然后流入高效热交换器形成蒸汽设备。以提供基本上不含颗粒污染物的高纯度气体或蒸汽混合气，用于半导体薄膜沉积和工业涂层应用的CVD、PECVD、ALD薄膜沉积。