13MHz连续波射频电源

简要描述：

射频电源是一种能够产生固定频率正弦波或脉冲电压的电源设备，其工作频率位于射频范围内，并具有一定的功率输出能力。13MHz BG系列射频电源，工作频率13.56MHz，可输出额定功率范围1000W~5500W。

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创新点

CEX功能

可以将两个或以上的电源锁定，以相同的频率并保持固定的相位关系输出到同一个等离子体中，该功能可以减轻串扰，并消除与之相关的问题。

选频/扫频功能

支持 13.56MHz±5% 带宽的固定频率输出，可选频率调谐功能，自动扫频实现毫秒数量级快速阻抗匹配。

HALO功能

可选 HALO(高精确度、低输出)支持 5W~30W 功率输出，功率分辨率支持 0.1W。

Ramp功能

可设功率爬升/下降速度，精确的控制功率已满足不同工艺制程的使用。

应用领域

半导体-集成电路

半导体-封装

半导体显示

半导体照明

半导体-微机电系统

功率半导体

化合物半导体

技术指标

产品型号	BG1013	BG1513	BG3013	BG3013-F	BG5513
功率范围	5-1000W	5~1500W	30-3000W		55W~5500W
频率	13.56MHz±0.005%
供电要求	三相187~239VAC，47~63Hz			三相408~552VAC，47~63Hz	三相208VAC，50/60Hz；
脉冲功能是否支持	否
CEX	支持
输出阻抗	50Ω
输出精度	≤±1%			≤±1%或±1.5W
冷却方式	水冷NPT 3/8 内螺纹			水冷1/4NPT接头+风冷	水冷NPT 3/8 内螺纹；
供电接头	Harting Type Han Q（针）		航空插头XCD36F4Z1D1（针）	Harting HAN Modular 40A series	Harting连接器插座HBX2;
输出接头	HN FEMALE				7/16 FEMALE；
尺寸（L×W×H）	430×216×132.5		440.5×216×132.5	447.5×482.6×132.5	464.4×216×132.5
通讯方式	通讯方式RS232、25pin模拟量			RS232、Analog（15 pin female）、DeviceNet	通讯方式RS232、25pin模拟量