2MHz 脉冲射频电源

简要描述：

2MHz BGP系列射频电源，为脉冲射频电源，工作频率范围在1.765 MHz～2.165 MHz 具备选频功能，50Ω负载下，满足输出2500W、5000W额定功率，功率精度≤±1%，由供电部分、射频部分和控制部分组成，散热方式为水冷和风冷。

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创新点

丰富灵活的波形控制功能

具有连续波、单脉冲、双脉冲、多脉冲等波形控制功能，具有多台射频电源间的脉冲同步异步功能。

AFT、DFT扫频技术

具有自动AFT扫频技术、DFT动态扫频技术、DFT扫频参数自学习技术，适应复杂负载情况下的快速高精度扫频。

脉冲扫频技术

具有脉冲独立扫频技术，实现脉冲控制与扫频控制的配合使用，满足工艺多个脉冲的独立扫频功能。

应用领域

半导体-集成电路

半导体-封装

半导体显示

半导体-微机电系统

功率半导体

化合物半导体

技术指标

产品型号	BGP2502	BGP5002
工作频率	(1.8-2.17MHz)± 0.005%
频率模式	固定频率、选频、扫频(AFT、DFT)
脉冲模式	主/从
调节模式	FWD、LOAD、AP
输出功率	2500W	5000W
输出功率精度	≤±1%或2.5W	≤±1%或5W
输出阻抗	50Ω	50Ω
供电电压	3相208V±10% 50/60Hz
输出接口	HN Female	7_16(Female)
响应时间	射频响应时间≤100ms
工作模式	CW/Pulse/Dual Level/Multi Level（10Hz-20kHz、1%~99%）
脉冲同步	有
通信接口	Analog port、RS232/485、DeviceNet、EtherCat、EtherNet
谐波抑制	≤－45dBc	≤－45dBc
冷却方式	水冷+风冷	水冷+风冷
RAMP功能	有