2MHz BG系列射频电源，为连续波射频电源，工作频率范围在1.765 MHz～2.165 MHz 具备选频功能，50Ω负载下，满足输出1250W、1500W、3000W额定功率，功率精度≤±1%，由供电部分、射频部分和控制部分组成，散热方式为水冷和风冷。
创新点
丰富灵活的波形控制功能
AFT、DFT扫频技术
脉冲扫频技术
应用领域
半导体-集成电路
半导体-封装
半导体显示
半导体照明
半导体-微机电系统
功率半导体
化合物半导体
技术指标
| 产品型号 | BG1202 | BG1502 | BG3002 |
| 工作频率 | (1.765-2.165MHz)± 0.005% | ||
| 频率模式 | 固定频率、选频 | ||
| 脉冲模式 | 无 | ||
| 调节模式 | FWD | ||
| 输出功率 | 1250W | 1500W | 3000W |
| 输出功率精度 | ≤±1%或1.5W | ≤±1%或3W | |
| 输出阻抗 | 50Ω | ||
| 供电电压 | 3相208V±10% 50/60Hz | 3相480V±10% 50/60Hz | |
| 输出接口 | N Female | HN Female | HN Female |
| 响应时间 | 射频响应时间≤100ms | 射频响应时间≤ 100 ms | |
| 工作模式 | CW | ||
| 脉冲同步 | 无 | ||
| 通信接口 | Analog port、RS232/485 | Analog port、RS232/485、DeviceNet | |
| 谐波抑制 | ≤－45dBc | ≤－45dBc | ≤－45dBc |
| 冷却方式 | 水冷+风冷 | 水冷+风冷 | 水冷+风冷 |
| RAMP功能 | 无 | ||
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