13MHz脉冲射频电源

简要描述：

射频电源是一种能够产生固定频率正弦波或脉冲电压的电源设备，其工作频率位于射频范围内，并具有一定的功率输出能力。13MHz BGP系列射频电源，工作频率13.56MHz，可输出额定功率范围1500W~6000W。

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创新点

CEX功能

可以将两个或以上的电源锁定，以相同的频率并保持固定的相位关系输出到同一个等离子体中，该功能可以减轻串扰，并消除与之相关的问题。

选频/扫频功能

支持 13.56MHz±5% 带宽的固定频率输出，可选频率调谐功能，自动扫频实现毫秒数量级快速阻抗匹配。

HALO功能

可选 HALO(高精确度、低输出)支持 5W~30W 功率输出，功率分辨率支持 0.1W。

Dual-Level功能

在脉冲功能上升级 dual-level功能，满足更多工艺制程中高深宽比(HAR)的刻蚀需求。

Ramp功能

可设功率爬升/下降速度，精确的控制功率已满足不同工艺制程的使用。

应用领域

半导体-集成电路

半导体-封装

半导体显示

半导体照明

半导体-微机电系统

功率半导体

化合物半导体

技术指标

技术参数	BGP1513	BGP3013	BGP6013
功率范围	15W~1500W	30W~3000W	60W~6000W
频率	13.56MHz
供电要求	三相208V，50/60Hz AC input
脉冲功能是否支持	支持
输出阻抗	50Ω
输出精度	功率精度：≤3W；频率精度：±0.005%；		功率精度≤6W；频率精度±0.005%；
冷却方式	风冷+水冷3/8" NPT cooling water interface；
供电接头	harting
输出接头	HN(Female)
电源尺寸	half rack		full rack
通讯接口	RS232、RS485、EtherCAT