RPS电源是一款小型射频电源，专用于半导体领域，在氧化物、氮化物清洗工艺中有着广泛的应用。RPS电源为模拟系统控制，可通过自调频系统进行功率输出调节，输出功率以电流反馈的形式进行采集。电源自带功率输出对插接口，可稳定输出48KHz-92KHz的高压正弦波，并维持等离子体的稳定性。
创新点
具备电流控制功能
具备输出电流监控功能
具备互锁功能
应用领域
半导体-集成电路
半导体-封装
半导体显示
半导体照明
半导体-微机电系统
功率半导体
化合物半导体
技术指标
| 型号 | BRT0150L | BRT0150LC |
| 电源输入 | 220V±10%，50/60Hz | |
| 输出类型 | 正弦波 | |
| 输出频率 | 48KHz-92KHz | |
| 输入输出隔离 | >500M | |
| 输出功率精度 | 2W或2% | |
| 输出电流 | 300mA max | |
| 互锁调节 | 不可调 | 可调 |
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