ESC DC Power即ESC直流电源，是一种专用于静电卡盘（ESC）的直流高压静电电源，本产品为双极输出电源，可同时提供正和负直流电压，通过专用电缆和滤波电路，连接到静电卡盘直流电极上，为静电卡盘提供产生吸力的直流高压。

ESC DC Power即ESC直流电源，是一种专用于静电卡盘（ESC）的直流高压静电电源，本产品为单极输出电源，可同时提供正和负直流电压，通过专用电缆和滤波电路，连接到静电卡盘直流电极上，为静电卡盘提供产生吸力的直流高压。

RPS电源是一款小型射频电源，专用于半导体领域，在氧化物、氮化物清洗工艺中有着广泛的应用。RPS电源为模拟系统控制，可通过自调频系统进行功率输出调节，输出功率以电流反馈的形式进行采集。电源自带功率输出对插接口，可稳定输出48KHz-92KHz的高压正弦波，并维持等离子体的稳定性。