D07-19 热式气体质量流量控制器/流量计根据毛细管传热温差量热法原理,设置模拟量程,不因温度和压力的波动而失准,无需进行温度、压力补偿即可实现对各种气体精准测量和控制。D07-19系列产品具有稳定性高、易维护等特点。
创新点
数字内核电路板
恒功率传感器
数字传感器补偿技术
VCP的阀控技术
应用领域
特种工业—石油化工
特种工业—光纤
特种工业—真空镀膜
特种工业—热处理
生命科学—环境保护
生命科学—食品工业
生命科学—生物工程
生命科学—医疗健康
生命科学—分析仪器
科学研究—实验器材
技术指标
型号 | D07-19B | D07-19J | D07-19JM |
流量规格 | ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | ||
( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM | ( 0~1,2,3,5,10,20,30,50) SLM | ||
流量控制范围 | 2~99% of F.S. | ||
准确度 | ±1 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.) | ±1 % F.S. | |
线性 | ±0.5 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.) | ±0.5 % F.S. | |
重复精度 | ±0.2 % F.S. | ||
响应时间 | ≤2 sec | ||
工作压差范围 | ≤10SLM: 0.1 ~ 0.5 MPa >10SLM: 0.1~ 0.3 MPa | 0.1 ~ 0.4 MPa (≤10SLM) 0.1 ~ 0.3 Mpa(10SLM<F.S.≤30SLM) 0.25~ 0.45 MPa (>30SLM) | <0.02 MPa (2.9 psid) |
工作压力 | 1 MPa (145psig) | ||
耐压 | 3 MPa (435.1 psig) | 3 MPa (435.1 psig) | |
漏率 | 1×10-9Pa·m3/sec He | ||
温度系数 | Zero: ≤±0.05% F.S./℃; Span: ≤±0.1% F.S./℃; | ||
工作环境温度 | 5 ℃ ~ 45 ℃ | ||
输入信号 | 0 V ~ +5.00 V (输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA) | 4-20mA或0 ~ 5V或1 ~ 5V | |
输出信号 | 0 V ~ +5.00 V (输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA) | 4-20mA或0 ~ 5V或1 ~ 5V | |
电源 | +15 V 50 mA; -15V 200 mA | 24VDC 400 mA;+15V 50mA , - 15V 200mA | |
重量 | 0.95 kg | 1.2kg | 1.0 kg |