D07-9 热式模拟气体质量流量控制器

简要描述：

D07-9 热式气体质量流量控制器/流量计根据毛细管传热温差量热法原理，设置模拟量程，不因温度和压力的波动而失准，无需进行温度、压力补偿即可实现对各种气体精准测量和控制。D07-9系列产品是华丞电子研发高精度、快速响应的模拟产品。

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创新点

VCP的阀控技术

阀控技术采用多项新成果，统称VCP技术，该结构阀内部气体死区空间少，阀响应速度快，无磁滞现象。采用VCP技术可有效提高气体质量流量控制器控流稳定性。

恒功率传感器

采用了一种新型恒功率式传感器技术，该技术采用保持传感器工作状态恒定方法，大幅提高系统测量准确性及响应速度。

国产化程度高

材料、元器件、电子器件均实现国产化设计，核心技术自主可控。

应用领域

清洁能源—光伏

清洁能源—氢能燃料电池

特种工业—光纤

特种工业—真空镀膜

特种工业—热处理

生命科学—环境保护

生命科学—食品工业

生命科学—生物工程

生命科学—医疗健康

生命科学—分析仪器

科学研究—实验器材

技术指标

型号	D07-9J 型	D07-9JM 型
流量规格(N₂)	(0~20,30,50,100,150,200,250)SLM
流量控制范围	2~99%F.S.
准确度	±1.5%F.S.
线性	±1%F.S.
重复精度	±0.2%F.S.
响应时间	≤4sec
工作压差范围	20,30 SLM:(0.05~0.30) MPa (7.3~43.5 psid) 50,150 SLM:(0.10~0.30) MPa (14.5~43.5 psid) 200,250 SLM:(0.15~0.30) MPa (21.8~43.5 psid)	20~100SLM:<0.02 MPa(2.9 psid) >100SLM:<0.05 MPa(7.3 psid)
工作压力	1 MPa (145psig)
耐压强度	3MPa
漏率	1×10^-10 Pa·m³/sec He
工作环境温度	(5~45) ℃
输入信号	0V~+5.00V (输入阻抗大于 100K，输出电流不大于 3mA)
输出信号	0V~+5.00V (输入阻抗大于 100K，输出电流不大于 3mA)
电源	+15V 50mA - 15V 400mA
重量	2.6 Kg	1.5 Kg