VCR气路系统主要采用VCR密封形式，整体气路系统由质量流量控制器、隔膜阀、调压阀、压力传感器、过滤器及不锈钢管件接头等部件组合而成，能够根据客户需求提供多种解决方案。
创新点
在设备工艺管路中，实现了对流体的输送、混合、调试、控制（包括开关、减压、过滤、分流、流量控制等）。
设备工艺管路中气体混合过程中的安全保障。
设备客户工艺设计解决方案。
应用领域
半导体—集成电路
半导体照明
清洁能源—光伏
特种工业—光纤
特种工业—真空镀膜
生命科学—分析仪器
科学研究—实验器材
技术指标
| 型号 | 标 准 |
| 零部件入库检查 | 形状与尺寸与图纸一致，实物型号与部件表的型号一直 |
| 安装标准 | 各阀门仪表流向、安装位置与图纸要求一致，管道平整 |
| 保压 | 12小时压降≤1% |
| 漏率 | ≤1×10-10 Pa·m³/S |
| 焊接件标准 | 无明显焊疤，焊接部位表面无伤痕、脏污、烧痕去除 |
| 焊道偏离范围小于壁厚 20%以内、焊道匀直、无明显外凸内凹及错位现象 | |
| 外观标准 | 外观整洁，各部位无明显磕伤 |
| 元器件标签、接口方式等与图纸一致 | |
| 目视检查气柜内部有无腐蚀、雾化或变色等信息 |
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