VD-03扩散器采用粉末冶金工艺制备的金属多孔材料滤芯。滤芯在烧结过程中形成的大量微米级孔道能实现气体匀化和层流化，保证气体的通过性，达到较短的Vent-up时间。同时，这种微观结构强化了对亚微米颗粒吸附、扩散等过滤效应，具有过滤最小粒径0.0015μm颗粒的能力。扩散器壳体可以选用316L VV材料并进行EP处理，扩散器耐腐蚀性得到进一步提高。的焊接工艺保证了多孔材料滤芯与壳体的牢固结合，使扩散器整体具有高强度。
创新点
低气阻和高效过滤的平衡
微弧多孔材料焊接
提供定制化方案
应用领域
半导体—集成电路
半导体照明
技术指标
| 性能 | 指标 |
| Vent Efficiency | 20psig时，~0.5sec/L |
| Particle Shedding | 按SEMI F43， particle above background(＜1particle/ft3) |
| 过滤精度 | 0.0015μm |
| 滤芯材料 | 316L |
| 壳体材料 | 316L或316L VV★可选 |
| Wetted surface finish | Ra0.2μm(10Ra)或Ra0.1μm(5Ra)可选 |
| 进气接口 | ¼”Male Swivel VCR（外螺纹） |
| 出气接口 | ISO NW50 |
| O型圈材质 | Viton |
| 端面环形密封槽 | 外径68.5mm×内径60.5mm×深2.6mm |
| 使用温度 | 惰性气氛下，460°C（仅金属）；100°C（含O型圈） |
| 工作压力 | 60psig（4.1barg） |
| 工作压差 | 75psid（5.2bar） |
| 结构特点 | 扩散器为焊接结构，结构强度高，颗粒少 |
| 使用寿命 | 300万次 |
注：进、出气接口型式、扩散器尺寸、滤芯材料可按客户要求定制；
注★：316L VV是指采用VIM+VAR双真空冶炼工艺的高洁净度316L不锈钢，具有高耐腐蚀性。
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