卡套气路系统可根据客户需求提供定制化气体输送系统，包括电磁阀、截止阀、干燥器、过滤器、接头等必要部件。

VD-03扩散器采用粉末冶金工艺制备的金属多孔材料滤芯。滤芯在烧结过程中形成的大量微米级孔道能实现气体匀化和层流化，保证气体的通过性，达到较短的Vent-up时间。同时，这种微观结构强化了对亚微米颗粒吸附、扩散等过滤效应，具有过滤最小粒径0.0015μm颗粒的能力。扩散器壳体可以选用316L VV材料并进行EP处理，扩散器耐腐蚀性得到进一步提高。的焊接工艺保证了多孔材料滤芯与壳体的牢固结合，使扩散器整体具有高强度。

VCR气路系统主要采用VCR密封形式，整体气路系统由质量流量控制器、隔膜阀、调压阀、压力传感器、过滤器及不锈钢管件接头等部件组合而成，能够根据客户需求提供多种解决方案。

IGS气路系统是专为半导体领域研发的新型气路输送解决方案。它采用气体直路方向运输设计，体积小巧，便于安装与维护，满足零部件小型化需求。华丞电子凭借多年研发经验，赋予其高密封性、高精度和高集成度特点，并依托特殊气体实验室，确保特殊气体控制的高准确性，这也是未来IGS气路系统的发展方向。