VS100 真空压力开关利用压阻式压力传感器，来检测介质的压力变化，与预设的压力动作点进行比较，将压力转换为开关量信号。应用于集成电路、封装、半导体照明、功率半导体、化合物半导体领域。
创新点
动作压力点可设定有效减少物料种类和客户库存品类
精度高
应用领域
半导体-集成电路
半导体-封装
半导体照明
功率半导体
化合物半导体
技术指标
| 型号 | VS100 | |
| 量程及压力动作点设定 | 量程 | 压力动作点设定 |
| 绝压750Torr | 75～735Torr | |
| 绝压1000Torr | 20～990Torr | |
| 表压-750～750Torr | -150～110Torr | |
| 注：压力动作点设定值一般为1%*FS～99%*FS | ||
| 默认设置 | 通用型号默认为：上限报警，动作点99%FS, 迟滞2%FS。 设定时，需使用供应商提供的专用软件及线缆。 | |
| 精度 | ±0.5%FS | |
| 漏率 | <1x10-9atm.cc/sec He | |
| 温漂系数 | 0.1% FS/℃ | |
| 运行温度范围 | 0～80℃ | |
| 耐压极限 | 额定压力的2倍 | |
| 爆破压力 | 额定压力的5倍 | |
| 工艺侧材料 | 316L Ss SEMI F20/Hastelloy C-276 | |
| 供电电压 | 24V±10%VDC | |
| 输出 | 无源触点继电器输出(1NO,1NC) 不上电时，NO为打开，NC为关闭 | |
| 电气接口 | 散线/DB9 male | |
| 动作点设置方式 | 出厂前设定/客户端设定 | |
| 接口类型 | 1.125“C-seal/1.125”W-seal/4VCR/KF25(NW25)/KF16 | |
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