PC300 压力控制器是带有完整流量计功能的压力控制器，主要应用于半导体领域，例如在晶圆背面冷却系统中，用来控制硅片背面的冷却气体的压力，如氦气、氮气、氩气等特殊气体。
创新点
产品全数字化
双重控制技术
应用领域
半导体-集成电路
半导体-封装
半导体显示
半导体照明
半导体-微机电系统
功率半导体
化合物半导体
技术指标
| 型号 | PC300 |
| 满量程流量 | (10 20 50 100 200 500 5000)SCCM |
| 满量程压力 | (10 20 50 100)Torr |
| 控制方式 | Downstream |
| 压力控制精度 | ±0.2% of F.S. |
| 控制重复性 | ±0.2% of F.S. |
| 响应时间 | <1.0 Second |
| 工作温度范围 | 10℃ to 50℃ |
| 阀类型 | Normally Closed |
| 漏率 | <1x10-12(SCC/SEC He) |
打印当前页
发邮件给我们：zhaoqiannan@sevenstar.com.cn