ESC DC Power即ESC直流电源，是一种专用于静电卡盘（ESC）的直流高压静电电源，本产品为双极输出电源，可同时提供正和负直流电压，通过专用电缆和滤波电路，连接到静电卡盘直流电极上，为静电卡盘提供产生吸力的直流高压。
创新点
具备极性反转、放电功能
具备监测功能
具备输出保护机制
应用领域
半导体-集成电路
半导体-封装
半导体显示
半导体照明
技术指标
| 型号 | BEC0402 | BEC0301 | BE1200/BEC1200 |
| 电源输入 | 24VDC，1A | 24VDC，2A | |
| 输出电压 | 0~±2000Vdc（ 4000Vdc） | 0~±1500Vdc（ 3000Vdc） | 0~±6000Vdc（ 12000Vdc） |
| 输出电压精度 | 设置值 1000Vdc-4000Vdc 范围内，误差 1%以内（of set point） 设置值<1000Vdc，误差实际值=设定值±10Vdc | 设置值 1000Vdc-3000Vdc 范围内，误差 1%以内（of set point）； 设置值<1000Vdc，误差实际值=设定值±10Vdc; | 设置值 1000Vdc~12000Vdc 范围内，误差 1%以内（ of setpoit） |
| 输出电流 | 0~10V：0~2mA max |
| 0~10V : 0~1mA max |
| 输出电压线性误差 | 30Vdc-4000Vdc， 1%以内 | 30Vdc-3000Vdc， 1%以内 | 1000Vdc-12000Vdc， 1%以内 |
| 通讯方式 | 手动、 25pin I/O， RS232 | ||
| CT(Center-Tap) | 可检测/可设置，0-10V:0Vdc~-2000Vdc | 可检测/可设置， 5-10V: -1000Vdc~+1000Vdc | 无 |
| 其他说明 | 升级双极串口设置CT功能 | 升级功能 （1）新增VR+/VR-指令:允许/禁用极性反转模式 （2）新增SCT指令:设置CT值（3）新增限流保压功能 | BEC1200支持双正双负功能 |
| HV对地隔离 | ＞10M | ||
| 输入输出隔离 | ＞500M | ||
| 极性反转 | 支持 | ||
| 放电功能 | 支持 | ||
| 保护机制 | 过电压保护、过电流保护 | ||
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