PC100 压力控制器

简要描述：

PC100 压力控制器是数字型压力控制产品，为气体压力的控制、测量提供了高准确度及高可靠性。可同时支持数字信号和0~5V模拟信号，使用单电源供电。另外，标准开放的通讯协议可为客户自行开发控制、采集软件提供便利。

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创新点

基于PTS的压力传感技术

一方面通过压力、温度双参量优化，建立压力-温度数据模板计算补偿系数表进行温度补偿；另一方面，通过改进传感器安装位置，缩小检测空腔体积的方式，使得传感器信号测量更加准确，精准的控制压力。

基于AI的压力控制技术

通过建立压力波动数据模型，快速识别固定流量压力波动、固定压力流量波动等模式。根据不同模式采用预增加或者减少阀电压的方式进行压力PID调节，该策略具有响应速度快、控制稳定的特点。

全金属耐腐蚀技术

采用嵌入式衬氟比例调压阀技术。阀密封结构主要采用316L不锈钢和四氟材料（PTFE）。PTFE材料可提高产品的使用寿命，适用于各种类型腐蚀性气体，同时密封性优于金属密封。

应用领域

半导体-显示

半导体-集成电路

半导体-照明

清洁能源-光伏

技术指标

型号	PC100
压力类型	绝压
控制压力的满量程	1000Torr、1200mbar
耐压	3MPa
阀口满量程流量	50、500sccm; 1、2、3、5SLM
控制方式	上游
温度系数	Zero:±0.02% of F.s./℃；Span: ±0.04% of Reading/℃
压力分辨率	0.1 Torr
压力控制精度	±1.0% of Reading (≥10%FS); ±0.2% of F.S.(<10%FS )
响应时间	<1.0 S
工作温度范围	10℃~50℃
机械接口	双卡套 1/4"、 VCR 1/4”阳接头
阀类型	常闭
外漏	<1x10^-10(scc/sec He)
内漏	<1.0% of 阀口满量程流量（阀关闭时，进气端为 25 psig，出气端为大气）
供电电源	+15 ~ +24 VDC(<4 watts)
电气接口	DB-9 针、EtherCAT接头

注意：

气体压力控制器出厂通常用氮气(N₂)标定。

气体压力的单位规定为：Torr(托)；mbar(毫巴)

标准状态规定为：温度--273.15K（0℃ )；气压--101325 Pa（760mm Hg）

在华丞电子 PC 产品中，单位 SCCM 和“mL/min，0°c，1atm”等同，单位 SLM和“L/min，0℃，1atm”等同。

F.S.(Full Scale)：满量程值； S.P.(Set Point)：设定点值