PC200 压力控制器用于对气体的压力进行精密控制和测量。主要应用于与半导体集成电路工艺、特种材料、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等领域。
创新点
支持双电源宽范围供电
模拟电压四种组合形式
上下游控压
应用领域
半导体-集成电路
半导体-显示
生命科学-分析仪器
科学研究-实验器材
技术指标
| 型号 | PC200 |
| 压力类型 | 绝压、表压 |
| 控制压力的满量程 | 绝压：1000Torr、2000Torr； 300Kpa、3000mbar 表压：500Kpa |
| 耐压 | 3MPa |
| 阀口满量程流量 | 200sccm; 1、2、4、5、10、15、50SLM |
| 控制方式 | 上游、下游 |
| 温度系数 | Zero: ±0.02% of F.s./℃；Span: ±0.04% of Reading/℃ |
| 压力分辨率 | 0.1 Torr |
| 压力控制精度 | ±0.5% of F.S. |
| 响应时间 | <1.0 S |
| 工作温度范围 | 5℃~50℃ |
| 机械接口 | VCR1/4"阳接头、VCR3/8"阳接头 |
| 阀类型 | 常闭、常开 |
| 外漏 | <5x10-12(Pa.m3/s He) |
| 内漏 | <1.0% of 阀口满量程流量 (阀关闭时，进气端为25psig，出气端为大气) |
| 供电电源 | +15~+24VDC(单级)、±15VDC(双极，仅支持DB-9针接口) |
| 电气接口 | DeviceNet接头、DB-9针、EtherCAT接头 |
注意：
气体压力控制器出厂通常用氮气(N2)标定。
气体压力的单位规定为：Torr (托); mbar(毫巴); KPa (千帕);
标准状态规定为：温度--273.15K（0℃ )；气压--101325 Pa（760mm Hg）
在华丞电子 PC 产品中，单位 SCCM 和“mL/min，0°c，1atm”等同，单位 SLM和“L/min，0℃，1atm”等同。
F.S.(Full Scale)：满量程值； S.P.(Set Point)：设定点值
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