PC210 压力控制器是数字型压力控制产品,为气体压力的控制、测量提供了高准确度及高可靠性。模拟型产品可同时支持数字信号和模拟信号,可使用双电源±15VDC 供电。
创新点
支持双电源宽范围供电
模拟电压四种组合形式
上下游控压
应用领域
半导体-集成电路
半导体-显示
生命科学-分析仪器
科学研究-实验器材
技术指标
型号 | PC210 |
压力类型 | 绝压 |
控制压力的满量程 | 绝压: 100Torr、200Torr、1000Torr; 300Kpa |
耐压 | 3MPa |
阀口满量程流量 | 200SCCM; 1、2、4、5、10、20SLM |
控制方式 | 上游、下游 |
温度系数 | Zero: ±0.04% of F.s./℃;Span: ±0.04% of Reading/℃ |
压力分辨率 | 0.1 Torr |
压力控制精度 | ±0.5% of Reading |
工作温度范围 | 10℃~50℃ |
机械接口 | VCR 1/4"阳接头、VCR1/2"阳接头 |
阀类型 | 常闭 |
外漏 | <1x10-9(scc/sec He) |
内漏 | <1.0% of 阀口满量程流量或者1sccm( 1个大气压N2 ) 中较大值 |
供电电源 | ±15VDC |
电气接口 | DB-15 针 |
注意:
气体压力控制器出厂通常用氮气(N2)标定
气体压力的单位规定为:Torr(托);mbar(毫巴); KPa (千帕)
标准状态规定为:温度--273.15K(0℃ );气压--101325 Pa(760mm Hg)
在华丞电子 PC 产品中,单位 SCCM 和“mL/min,0°c,1atm”等同,单位 SLM和“L/min,0℃,1atm”等同
F.S.(Full Scale):满量程值; S.P.(Set Point):设定点值