CVS100 真空开关为真空设备、大气开关和真空压力过程提供准确可靠的保护。应用于半导体加工工具、真空泵、压缩机、鼓风机、医疗设备和机床等。
创新点
压力实时测量，触点可设置
应用领域
半导体-集成电路
特种工业-石油化工
生命科学-医疗健康
科学研究-实验器材
技术指标
| 型号 | CVS100 |
| 技术指标 | CVS电容薄膜真空开关技术指标 |
| 测量范围 | 绝压：10~1000Torr |
| 允许压力 | 45Psi |
| 综合精度 | ±0.5%F.S. |
| 电源电压 | DC24V±10% |
| 电源电流 | Max 50mA，通常20mA以下 |
| 输出信号 | 继电器输出(1NO，1NC) |
| 设定输出 | 2触点/迟滞可设置 |
| 工作温度 | 0～50℃ |
| 材料 | 铝、镍铬铁合金、不锈钢 |
| 密封方式 | 焊接 |
| 气密性 | <1 x 10-11 atm.cc/s |
| 接口 | 4VCR male、4VCR female、NW16-KF（可定制） |
| 认证 | 通过CE认证 |
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