DP100 压差计具有的准确性和重复性,可用于各种不同应用的工业和电子控制系统中,本产品以超薄膜片为感压元件,可精确测量参考腔室和测试腔室之间的气体压力差值。
创新点
压力实时测量
零点可调功能
应用领域
半导体-集成电路
特种工业-真空镀膜
生命科学-医疗健康
科学研究-实验器材
技术指标
型号 | DP100 | |
指标 | 单位 | 规格参数 |
量程Full Scale Ranges | mbar | 1 ~1000等 |
精度Accuracy | % of F.S. | ±0.5%;±0.3% |
分辨率Resolution | % of F.S. | 0.003% |
运行温度范围Ambient Operating Temperature | ℃ | 0 ~ 50℃ |
加热温度Sensor Heated Temperature | ℃ | 不加热 |
预热时间Warm-up Time | h | 0.5 |
耐压极限Overpressure Limit | Psia | 20 |
工艺侧材料Materials Exposed to Process Gases | / | 镍基合金等 |
供电电压Input Power Required | VDC | 24V±10% VDC |
输出信号Output Signal | VDC | 4 ~ 20mA |
电气接口Electrical Connectors | / | D型9针阳接头 |
腔体检测接口Connection Fittings | / | VCR1/4〞母接头、VCR1/4〞公接头 |
安装方式 Install type | / | 竖直或水平 |