BV100 蝶阀广泛应用于半导体，平板显示，晶体硅太阳能和工业制程中，用于控制腔室的下游压力。
创新点
双路自匹配压力传感技术
L-V-P压力控制技术
伺服驱动技术
应用领域
半导体-集成电路
半导体显示
技术指标
| 型号 | BV100 |
| 湿度 | 0~95%RH |
| 接口类型 | D-sub female，DA15 |
| 信号电压 | 0 ~ 10VDC 线性压力 |
| ADC分辨率 | 0.1 mV |
| 采样时间 | 2ms |
| 供电电压( 输出 ) | +24 VDC / 1.5A max. |
| 执行器 | 步进电机 |
| 电机分辨率 | 12800( 90°） |
| 控压精度 | 5 mV 或设定点的0.1%，取大值 |
| 防护等级 | IP 40 |
| 通道内径 | 40mm/50mm/63mm/80mm/100mm |
| 阀板开关时间 | 0.2s |
注意：
蝶阀出厂通常用电压对传感器信号进行标定
气体压力的单位规定为: Torr (托)
标准状态规定为: 温度 -- 273.15K (0℃) ; 气压 -- 101325 Pa(760mm Hg)
F.S.(Full Scale): 满量程值; S.P.(Set Point): 设定点值
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