BV200 蝶阀是数字型压力控制类阀门产品，为气体压力的控制提供了高准确度及高可靠性。该型产品支持数字信号控制，使用单电源+24 VDC供电。
创新点
双路自匹配压力传感技术
自学习功能技术
L-V-P压力控制技术
伺服驱动技术
应用领域
半导体-集成电路
功率半导体
技术指标
| 型号 | BV200 | |
| 材质 | 阀体/阀板 | 铝合金6061/不锈钢613L |
| 轴/阀板螺钉 | 不锈钢316L | |
| 轴承套筒 | lglidur X | |
| 轴承密封圈 | 环境端 | FKM |
| 真空端 | FKM | |
阀体漏率 | 不锈钢材质 | 1×10E-9 mbar ·L/s |
| 通信接口 | RS485(D-sub female,DB25)或DeviceNet(DNET航空插头) | |
| 供电口 | 接口类型 | D-sub male,DA15 |
| 电压 | +24 VDC | |
功耗 | 控制/驱动 | 40 W |
| 使用环境 | 温度 | 0~50摄氏度，建议在35度以下使用 |
| 湿度 | 0~95%RH | |
| 规接口参数 | 接口类型 | D-sub female,DA15 |
| 信号电压 | 0～10VDC线性压力 | |
| ADC分辨率 | 0.1 mV | |
| 采样时间 | 2ms | |
| 供电电压(输出) | +24 VDC/1.5A max. | |
| 执行器 | 步进电机 | |
| 电机分辨率 | 12800(90°) | |
| 控压精度 | 5 mV或设定点的0.1%,取大值 | |
| 防护等级 | IP 40 | |
| 通道内径 | 40mm/50mm/63mm/80mm/100mm | |
| 阀板开关时间 | 0.2s | |
注意：
蝶阀出厂通常用电压对传感器信号进行标定
气体压力的单位规定为：Torr(托)；mbar(毫巴)
标准状态规定为：温度--273.15K（0℃ )；气压--101325 Pa（760mm Hg）
在华丞电子 PC 产品中，单位 SCCM 和“mL/min，0°c，1atm”等同，单位 SLM和“L/min，0℃，1atm”等同
F.S.(Full Scale)：满量程值； S.P.(Set Point)：设定点值
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