PT100 压力变送器利用压阻式压力传感器，来检测介质的压力变化，并将压力转换为电信号输出；可测量气路盘、工艺腔和传输腔等位置的压力变化；广泛应用于集成电路、封装、半导体照明、功率半导体、化合物半导体等领域。

反应腔室压力控制器(Exhaust Pressure Controller，简称 EPC)用于对气体的压力进行精密控制和测量。它们在半导体集成电路工艺、特种材料、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。

LPT100 液体压力传感器是一款为半导体技术发展需求而研制的高精度耐腐蚀的产品，主要应用于集成电路湿法制程中的CMP、清洗等设备上。