PC100 压力控制器是数字型压力控制产品,为气体压力的控制、测量提供了高准确度及高可靠性。可同时支持数字信号和0~5V模拟信号,使用单电源供电。另外,标准开放的通讯协议可为客户自行开发控制、采集软件提供便利。
查看详细介绍PC300 压力控制器是带有完整流量计功能的压力控制器,主要应用于半导体领域,例如在晶圆背面冷却系统中,用来控制硅片背面的冷却气体的压力,如氦气、氮气、氩气等特殊气体。
查看详细介绍VS100 真空压力开关利用压阻式压力传感器,来检测介质的压力变化,与预设的压力动作点进行比较,将压力转换为开关量信号。应用于集成电路、封装、半导体照明、功率半导体、化合物半导体领域。
查看详细介绍VG200 电容薄膜真空规具有测量精度高、重复性好等优点。被广泛应用在半导体、光伏、真空、航空航天等装备制造领域,本产品以超薄膜片为感压元件,可精确测量工艺腔室或其它真空环境下的气体压力。
查看详细介绍PS100 电容薄膜真空规具有测量精度高、重复性好等优点,被广泛应用在半导体、光伏、真空、航空航天等装备制造领域,本产品以超薄膜片为感压元件,可精确测量工艺腔室或其它真空环境下的气体压力。
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