D07-9 热式气体质量流量控制器/流量计根据毛细管传热温差量热法原理,设置模拟量程,不因温度和压力的波动而失准,无需进行温度、压力补偿即可实现对各种气体精准测量和控制。D07-9系列产品是华丞电子研发高精度、快速响应的模拟产品。
查看详细介绍CS210 热式数字气体质量流量控制器是一款数模兼容的热式原理产品,可广泛应用于光伏、燃料电池、真空等行业,用于控制工艺制程的气体流量,具有高精度、高稳定性、低零漂等特点。
查看详细介绍CS200 热式数字气体质量流量控制器采用传感器和温度补偿技术,因此产品精度可以达到设定值1%以内,并且低温度系数可以保证产品适应不同的环境温度。同时,产品采用高速控制算法使整个流量控制器的响应时间方面更加岀色。
查看详细介绍CS230A产品是华丞电子研发的中大流量产品,流量可达300SLM氮气,并可实现数字/模拟控制模式;产品采用高速控制算法使整个流量计的响应时间方面更加出色,最多2秒的高速响应将使用过程中产生的系统误差最小化,流量更加精准,产品具备低零漂、低温漂性能,产品支持 DeviceNet,RS485通讯协议。
查看详细介绍CS100产品是基于华丞电子CS系列产品技术平台开发,在拥有恒功率传感器技术,数字传感器平衡技术,VCP线控制技术的基础上,采用客户定制化设计,客户可根据需要选用符合自身需求的产品,同时其的客户零点补唯功能(CGC),能够解决由于客户地线连接导致的MFC精度不准问题,使产品更好的适应客户环境。
查看详细介绍CS316是专为关键半导体制造工艺设计的压力不敏感型质量流量控制器,采用了压力补偿技术,减少前端压力变化对瞬时流量的影响,从而保证了产品的稳定性和准确性。产品各项技术指标均严格按照SEMI标准,支持W型,C型IGS气路系统。
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