CS330C、D型 MFC是全金属密封大流量的数字型产品，为气体质量流量的控制、测量提供了高准确度及高可靠性。该型产品支持提供数字信号，0~5V模拟信号，4~20mA模拟信号，可以使用双电源（±8~±16VDC）或单电源(+14~+28 VDC)。

CS312 质量流量控制器采用新型低零漂传感器和温度补偿技术，产品精度可达到设定值1%以内，低温度系数可保证产品适应不同的环境温度，可广泛应用于半导体、光伏、平板显示等行业的工艺设备中，精确控制工艺气体流量，具有低零漂、高精度、快响应、耐腐蚀等特点。

DS312 是一款控制精度高、相应速度快的质量流量控制器（MFC），主要用于刻蚀机等对机器性能要求高的半导体机台。