ESC DC Power即ESC直流电源，是一种专用于静电卡盘（ESC）的直流高压静电电源，本产品为单极输出电源，可同时提供正和负直流电压，通过专用电缆和滤波电路，连接到静电卡盘直流电极上，为静电卡盘提供产生吸力的直流高压。
创新点
具备极性反转、放电功能
具备监测功能
具备输出保护机制
应用领域
半导体-集成电路
半导体-封装
半导体显示
半导体照明
技术指标
| 型号 | BE0400 |
| 电源输入 | 24VDC，1A； |
| 输出电压 | 单极 4000Vdc |
| 输出电流 | 0~10：0~2mA max |
| 输出电压线性误差 | 30Vdc~+4000Vdc，1%以内-30Vdc~-4000Vdc，1%以内 |
| 通讯方式 | 手动、25pin I/O，RS232 |
| CT(Center-Tap) | 无 |
| HV 对地隔离 | ＞10M |
| 输入输出隔离 | ＞500M |
| 极性反转 | 支持 |
| 放电功能 | 放电时，HV+或HV-端对地电阻为200kΩ±5% |
| 保护机制 | 过电压保护可设置电流限制值 |
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