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技术文章

质量流量控制器为什么要满足一个压差?

  气体质量流量单位一般以sccm(StandardbicCentimeterperMinute,每分钟标准毫升)和slm(StandardLiterperMinute,每分钟标准升)来表示。这意味着,这种仪表在不同的使用条件下,指示的流量均是标准状态下的流量。标准状态规定为:气压—101325Pa(760mmHg);温度—0℃(273.15K)。这是这种仪表和其它流量计的重要区别,也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min之处。
  对多数用户而言,体积流量的表示方法很符合习惯﹑便于使用,但也有用户需要知道单位时间内流过介质的质量(如g/min),这个要求是很容易实现的。因为标准状态下的气体密度是一个常数,可以方便地查到,因而简单地做一个乘法(以密度乘以若干slm)即可实现。所以说,在标准状态下的体积流量就等同于质量流量。
  需要注意的是,被质量流量控制器厂商共同采用的sccm/slm这种质量流量单位,不符合国内计量标准的常用的质量流量的国际单位(Kg/min),但是它符合国际半导体协会制定的SEMI国际标准。
  质量流量控制器为什么要满足一个压差?
  很多客户在使用质量流量控制器(MFC)过程中发现总不能很好的达到控制流量效果,很多愿意都是没有达到MFC自生的一个压差,目前市场上一般MFC的压差都在50-300Kpa,这个意思就是进口和出口的压力差小不能低于50Kpa,大不能超过300Kpa,因为MFC自带电磁比例阀原因,如果压差太小,气体压力就根本不能把比例阀顶开,气体压力过大就让比例阀不能很好进行控制。所以客户在使用中好先告知进、出口压力,看看是否能满足这个差压50-300Kpa当然有些客户是有低压差的需求。
  更新更新时间:2021-06-18
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